半導(dǎo)體超純水設(shè)備常見(jiàn)的工藝流程：

離子交換工藝：原水+石英砂過(guò)濾器+活性碳過(guò)濾器+精密過(guò)濾器+原水箱+陽(yáng)床+陰床+混床(復(fù)床)+純水箱+純水泵+后置精密過(guò)濾器+用水點(diǎn)。

反滲透工藝：原水+石英砂過(guò)濾器+活性碳過(guò)濾器+精密過(guò)濾器+原水箱+反滲透設(shè)備+混床(復(fù)床)+純水箱+純水泵+后置精密過(guò)濾器+用水點(diǎn)。

反滲透+edi工藝：原水+石英砂過(guò)濾器+活性碳過(guò)濾器+精密過(guò)濾器+原水箱+反滲透設(shè)備+電去離子(EDI)+純水箱+純水泵+后置精密過(guò)濾器+用水點(diǎn)。

半導(dǎo)體超純水設(shè)備也是采用預(yù)處理、反滲透技術(shù)、可將水中的導(dǎo)電介質(zhì)幾乎完全去除，又將水中不溶解的膠體物質(zhì)、氣體及有機(jī)物均去除至很低程度的水處理設(shè)備。超純水系統(tǒng)設(shè)備的脫鹽核心部件是反滲透膜。

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